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基于模糊集与小波技术的MEMS平面运动测量
·摘 要:实现对MEMS的微结构平面运动幅值提取和分析,为提高MEMS器件的性能和可靠性分析提供重要参考。在连续光照明条件下,提出了一种基于模糊集图像增强技术与小波变换边缘检测技术相结合的MEMS运动幅值测量方法。该方法通过模糊集技术对ME...
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微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
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MEMS惯性传感器在控制系统中的应用研究
MEMS惯性传感器作为工业应用领用新兴的应用元件，不论在商业、工业还是军工应用上都有着广阔的应用。文中给出了几种MEMS的在不同领域内的应用范例，并解析了相应的原理，并从一款较常用的MEMS入手提出了对相应领域内的解决思路。 ...
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智能MEMS气体传感器中微加热器的优化设计
传统的金属氧化物气体传感器通常用于测量可燃性烃类气体和其他有毒气体。但是,他们存在两种缺陷,即(a)较高的工作温度(不小于300℃)及(b)较大的功耗(大于1 瓦)。正在研制的硅材料微型金属氧...
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侵彻武器用MEMS大g值加速度计
侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2 万倍至几十万倍， 要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境， 又能识别冲击与钻入的整个过程。美国侵彻武器用MEMS 大g 值加速度计属电容传感器，...
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ADI公司MEMS加速度计ADXL345简介与例程
ADXL345是ADI公司生产的一款超低功耗3轴加速度计，广泛应用于手机、医疗仪器、游戏和定点设备、工业仪器仪表及个人导航设备领域，他的分 辨率高达13位，测量范围达± 16g。数字输出数据为16位二进制补码格式，可通过SPI...