mems传感器
MEMS传感器即微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。截止到201...
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查看全部 500 份 →MEMS传感器的优化与动态试验
为了实现液压系统的动态测量，给液压系统的设计以及故障诊断提供理论依据，在已经设计的新型MEMS 流量传感器的基础上，对其结构尺寸进行了进一步的优化，并对MEMS 芯体和优化后的MEMS
2023-10-24
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汽车MEMS传感器的应用及发展
本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS（微机电系统）传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。关键词：汽车传感器、微机电系统、力
2024-01-18
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基于MEMS的微型手术器中的传感器
基于MEMS 的微型手术器是一种可用于微创手术的新型医疗器械。这种手术器实际上是一种微型智能机器人,其中的传感器采用MEMS 技术制造,具有微型、机电一体化集成、智能等特点。介绍了国际上具有代表性的微
2024-01-20
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满足工业控制的集成MEMS传感器
MEMS (Micro Electro Mechanical System) sensor technology is well established, and has brought benefi
2023-10-20
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基于MEMS技术的倾角传感器的研制
倾角传感器可广泛应用于工业自动化、工程机械、医疗设备等领域，基于MEMS技术和单片机技术研制的倾角传感器，具有7段LCD显示和标准RS-485通讯接口，体积小、功耗低，既可作为检测仪表使用，也可作为测
2024-03-14
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