euv光刻机

极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。

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2023-10-17 2 euv光刻机

光纤光栅波长移位的检测是现在光纤光栅传感的关键问题。本文介绍了几种测量光纤光栅波长的方案及其工作原理，对各自优缺点做了介绍。关键词：光纤光栅；光纤光栅传感器；)*+,$-.,/0.1

2024-01-27 3 euv光刻机