euv光刻机

极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。

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基于高精度光纤光栅传感技术,实现结构形变与温度的实时在线监测。系统采用分布式测量架构,具备高灵敏度和抗电磁干扰能力,适用于复杂环境下的长期稳定运行。

2026-03-01 3 euv光刻机

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2018-11-01 3 euv光刻机