euv光刻机

极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。

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2024-03-20 1 euv光刻机

介绍了多种光电检测器件在烟草行业中相关设备上的各种应用,包括CCD(电荷耦合器件) 、光电池、红外接收三极管、红外滤波和色标传感器,并对其工作原理作了简述。

2024-05-20 8 euv光刻机

提出一种隧道挖掘机的激光定向与定位系统。用于隧道挖掘过程中的挖掘机挖掘偏差的修正,整个系统包括全站仪和在全站仪上附加的激光发射系统。以及在隧道挖掘机上的激光定向定位测量系统,提出了测量挖掘偏差的方法。

2023-12-15 4 euv光刻机

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2024-11-11 1 euv光刻机