euv光刻机

极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。

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该文档属于图纸类的文档，主要介绍自已做雕刻机时所需的文档，适合广大DIY爱好者参考设计。

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