zernike多项式在拟合光学表面面形中的应用及仿真
光学镜面在应力作用下会产生表面形变，先通过有限元软件分析后得到镜面变形数据，在用zernike多项式精确拟合变形后的镜面面形，最后计算出表面变形均方根和表面变形最大值与最小值之差，适用于光学自由曲面的镜面面形精度分析
2016-04-09
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