X光机

x光机[1]是产生X光的设备,其主要由X光球管和X光机电源以及控制电路等组成,而X光球管又由阴极灯丝(Cathod)和阳极靶(Anode)以及真空玻璃管组成,X光机电源又可分为高压电源和灯丝电源两部分,其中灯丝电源用于为灯丝加热,高压电源的高压输出端分别夹在阴极灯丝和阳极靶两端,提供一个高压电场使灯...

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资料->【C】嵌入系统->【C5】Matlab仿真->【2】数值计算、数字图像与数字信号->【数值计算】->MATLAB6.x符号运算及其应用.pdf

2024-10-27 8 X光机

集成电路、半导体元器件等超精密器件已经被广泛应用在各行各业中,而光刻机作为研制和生产超精密器件的主流设备也变得尤为重要。双工件台系统是光刻机的关键子系统。光刻机双工件台系统的控制系统主要由上位机和下位机两部分组成。下位机指采用VME总线的工...

2023-09-11 9 X光机