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《微系统设计与制造》是2008年清华大学出版社出版的图书。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍典型器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领域，力争展示微系统的全貌。微系统（MEMS）是一门多...

2022-09-14 10 ST+MEMS

传统速度检波器由于内在结构的限制,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/ O 公司利用MEMS 技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性,可在检波器内部进行模/ 数转

2024-05-04 10 ST+MEMS