形状记忆合金薄膜在微机电系统中的应用
形状记忆合金(SMA) 薄膜因其特有的形状记忆合金效应、超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能,而在微机电系统中的微驱动器和微传感器方面极具应用潜力。本文主要介绍了以TiNi 基合金为主的形状记忆合金
2024-02-07
2