SAR干涉测量

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2022-06-25 9 SAR干涉测量

在表面形貌测量、精密加工、微机电控制系统、生物医学工程以及芯片光刻与封装技术中,高精度的XY二维位移运动工作台具有重要的意义。为此,论文以高精度的XY二维位移运动工作台为研究对象,结合光栅检测技术、伺服驱动控制、FPGA(Field Pro...

2023-09-28 5 SAR干涉测量