基于OPC技术离子源控制系统研究
采用ICPDAS 公司的可编程自动化控制器(PAC)Wincon 8000 结合稳定的I/O 模块,实现基于OPC 技术规范的离子源网络系统控制。研究了OPC 技术在现场设备间的开放式数据交换
2023-12-24
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