MEMS加速计

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ADXL345是ADI公司生产的一款超低功耗3轴加速度计,广泛应用于手机、医疗仪器、游戏和定点设备、工业仪器仪表及个人导航设备领域,他的分 辨率高达13位,测量范围达± 16g。数字输出数据为16位二进制补码格式,可通过SPI...

2013-11-07 36 MEMS加速计

随着高集成度和更精密的加速计产品的出现,系统设计师需要了解零件是如何校准的,因为这决定着他们是购买这些校准方案还是开发自己的校准程序。本文将讨论双轴加速计的校准工艺,并着重讨论最常见的误差源。

2023-10-25 1 MEMS加速计

  对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究,该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势,是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验,解决了圆片级封装问题,在低温250 ℃和适当压力辅...

2013-11-17 127 MEMS加速计

 研究了一种新型三维MEMS加速度计的性能特点和工作原理。针对加速度计的输出接口特点,设计了基于数字信号处理(DSP)芯片的数据采集系统,实现对加速度计信号的高速实时采集。利用多通道缓存串行口MCBSP实现SPI总线方式的数据采集...

2022-09-26 7 MEMS加速计

对一种新型双悬臂梁高gn 值MEMS加速度传感器进行有限元模拟。采用双悬臂梁传感芯片的一种实际封装结构,进行频域分析和时域分析,讨论封合传感器芯片和封装基体的封合材料对其输出信号的影响。频域分析表明,

2024-04-11 9 MEMS加速计

传统速度检波器由于内在结构的限制,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/ O 公司利用MEMS 技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性,可在检波器内部进行模/ 数转

2024-05-04 10 MEMS加速计