MEMS加速计

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《微系统设计与制造》是2008年清华大学出版社出版的图书。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍典型器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领域，力争展示微系统的全貌。微系统（MEMS）是一门多...

2022-09-14 10 MEMS加速计

气轨上测量滑块的速度和加速度 1.掌握气垫导轨上测滑块的速度和加速度的一种方法。2.学习使用气垫导轨和数字毫秒计。 如图10-1所示，物体由静止出发沿斜面作下滑运动，在摩擦阻力

2024-04-01 10 MEMS加速计

研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定性是这种电容式传感器的优点之

2024-04-15 1 MEMS加速计