📚 MEMS传感器技术资料

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MEMS传感器即微机电系统(MicroelectroMechanicalSystems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。截止到2010年,全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作,已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品,其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

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 为了在一定的温度和压力下有效改善传感器的非线性及温度变化引起的误差输出特性,提出了一种人工神经网络算法对其实现软件补偿. 它包含4 个权值的调整,分别代表输出信号的一次项,二次项以及温度的一次项,二次项系数,经过迭代以后获得一个最佳输出公式. 该公式既能够满足样本值,也能够满足非样本值,并最终可校...

📅 👤 yuanwenjiao

新型惯性角参数传感器实用电路角位移和角度传器实用电路旋转传感器实用电路惯性加速度与倾角传感器实用电路振动加速度传感器实用电路线位移传感器实用电路超速检测电路...

📅 👤 lyson

书籍名称:新型传感器技术及应用 作者:刘广玉  陈明 出版社:北京航空航天大学出版社 书籍来源:网友推荐 文件格式:PDG 内容简介:本书系综合目前国内外有关文献及作者的研究成果编著而成。主要内容有:传感器敏感材料;微机械加工技术;传感器建模;硅电容式集成传感器;谐振式传感器;声表面波传...

📅 👤 mickey008

现代传感器技术与应用,本书共分为三编。第一编分为三章,重点介绍了传感器技术的基础知识,介绍了传感器的基本概念、基本特性、数学模型以及传感器的标定和选用规则,第二编分为七章,重点介绍了常见传感器的基本原理、特性、测量电路以及应用;第三编分为十一章,重点介绍了新型传感器的工作原理、特性以及应用。在每一...

📅 👤 rnsfing

绪论第一章 光纤传感器第二章 固态图像传感器第三章 红外传感器第四章 生物传感器第五章 机器人传感器第六章 气体传感器第七章 湿度传感器第八章 非晶态合金传感器第九章 智能式传感器第十章 微波传感器第十一章 其他新型传感器参考文献.全书共分十一章,分别介绍了光纤传感器、固态图像传感器、红外传感器、...

📅 👤 gundamwzc

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