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结合典型的焊料键合MEMS真空封装工艺，应用真空物理的相关理论，建立了封装腔体的真空度与气体吸附和解吸、气体的渗透、材料的蒸气压、气体通过小孔的流动等的数学模型，确定了其数值模拟的算法．通过实验初步验证了模拟结果的准确性，分析了毛细孔尺寸对...

2016-07-26 3 MEMS+Devices

基于MEMS 的微型手术器是一种可用于微创手术的新型医疗器械。这种手术器实际上是一种微型智能机器人,其中的传感器采用MEMS 技术制造,具有微型、机电一体化集成、智能等特点。介绍了国际上具有代表性的微

2024-01-20 5 MEMS+Devices

倾角传感器可广泛应用于工业自动化、工程机械、医疗设备等领域，基于MEMS技术和单片机技术研制的倾角传感器，具有7段LCD显示和标准RS-485通讯接口，体积小、功耗低，既可作为检测仪表使用，也可作为测

2024-03-14 6 MEMS+Devices