基于位置敏感探测器的微位移测量关键电路设计
位置敏感探测器PSD(Position Sensitive Detector PSD)具有位置分辨精度高(可达1~2 μm)、输出实时性好(响应时间约几微秒)、系统简洁的特点,在位置探测及相关领域内获得了广泛的应用;但PSD的输出信号...
2013-11-06
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