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在以光栅干涉仪为位置测量仪器的系统中,可以采用单片机细分的方法进一步提高系统精度.论述了单片机细分原理,介绍了实现160细分的硬件结构和具体实现过程.详细分析了影响精度的几个主要原因.实验表明,该方法结构简单、可靠性高,对于相似的系统也可以采用此方法提高精度....

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