阳极键合
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阳极键合 热门资料
查看全部 500 份 →铝合金交流钨极氩弧焊熔池图像传感方法
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2023-12-22
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焊料键合实现MEMS真空封装的模拟
结合典型的焊料键合MEMS真空封装工艺，应用真空物理的相关理论，建立了封装腔体的真空度与气体吸附和解吸、气体的渗透、材料的蒸气压、气体通过小孔的流动等的数学模型，确定了其数值模拟的算法．通过实验初步验证了模拟结果的准确性，分析了毛细孔尺寸对...
2016-07-26
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