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介绍一种传感器特性曲线自动拟合法,这种方法是以每一点校准数据到拟合直线的竖直距离的绝对值最小为原则。根据该法编制了自动拟合程序,并给出了一个具体应用实例来说明其使用价值。关键词:  拟合;传感

2024-05-16 6 键合线

  对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究,该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势,是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验,解决了圆片级封装问题,在低温250 ℃和适当压力辅...

2013-11-17 127 键合线