提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 二)
ANSYS - 5. 7 被用来进行有限元分析。首先根据硅微机械技术的特点对3 种膜片进行建模。图2 (a)中的平膜没有什么特殊性,但图2 (b) 和图2 (c) 的波纹膜和深盆腔膜则有一定的形状要求
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ANSYS - 5. 7 被用来进行有限元分析。首先根据硅微机械技术的特点对3 种膜片进行建模。图2 (a)中的平膜没有什么特殊性,但图2 (b) 和图2 (c) 的波纹膜和深盆腔膜则有一定的形状要求
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度,但是其波纹结构本身又会
深圳永嘉微电 超高性价比水位检测芯片推出 水位检测芯片可用于需要检测水位,缺水,溢出等场合。适合应用于饮...
采用熔胶法合成了BaTiO3纳米晶材料,通过将其与市售CuO分析纯试疾(纯度99%)混合,经烧结得到复合材料。进一步以该符合材料为基础,制成了小型电容式CO2气体传感器。实验中主要对BatiO3基体材
采用增敏罐封装的方法,设计并研究了一种新型高灵敏度的光纤光栅压力传感器,其压力灵敏系数可高达- 3. 41 ×10 - 3 MPa - 1 (相应于灵敏度- 5. 277 nmPMPa) ,压力
概述: VK36W8I是一款抗干扰能力强,穿透能力高的水位检测专用触摸芯片。 封装为SOP16 上电就能检测水位点是否有水,水从无水到有水,从有水到无水,都可以检测出来。 检测时可以不接触到水在水箱外面检测到水位,也可以用金属探...