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2022-07-16 6 设计制造

《微系统设计与制造》是2008年清华大学出版社出版的图书。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合,在基础理论和制造技术的基础上,深入介绍典型器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领域,力争展示微系统的全貌。微系统(MEMS)是一门多...

2022-09-14 10 设计制造