计算光刻

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借助计算机控制系统,激光雕刻技术的计算速度越来越快,应用场景也越来越广泛[1,2]。雕刻数据一般通过 USB 接口连接上位机、SD 卡直接插入或WIFI 通信的方式导入,图像界面操作的应用提高了使用效率[3]。这些通信均需要近距离实现,而以...

2023-09-17 5 计算光刻

集成电路、半导体元器件等超精密器件已经被广泛应用在各行各业中,而光刻机作为研制和生产超精密器件的主流设备也变得尤为重要。双工件台系统是光刻机的关键子系统。光刻机双工件台系统的控制系统主要由上位机和下位机两部分组成。下位机指采用VME总线的工...

2023-09-11 9 计算光刻