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内容简介  全书由“几何光学”、“像差理论”和“光学设计”这三个相对独立而又相互联系的部分所构成。*部分是“几何光学”,包括高斯光学的基本内容以及光束限制与光能计算、光线的光路计算等;第二部分是“像差理论”,该部分系统地讲述了像差概念和现象...

2022-04-13 59 计算光刻

在分析现有的雕刻机数控系统优缺点基础上,结合高速数控技术的发展,提出了基于高性能DSP开发高性价比的雕刻机直流伺服控制系统的总体设计方案。围绕系统的总体设计方案,在插补算法研究方面,通过小线段高速加工速度衔接的递归数学模型的建立和速度轮廓曲...

2013-04-24 42 计算光刻

在分析现有的雕刻机数控系统优缺点基础上,结合高速数控技术的发展,提出了基于高性能DSP开发高性价比的雕刻机直流伺服控制系统的总体设计方案。围绕系统的总体设计方案,在插补算法研究方面,通过小线段高速加工速度衔接的递归数学模型的建立和速度轮廓曲...

2023-08-30 8 计算光刻