薄膜电路

薄膜电路是将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件以及它们之间的互连引线，全部用厚度在1微米以下的金属、半导体、金属氧化物、多种金属混合相、合金或绝缘介质薄膜，并通过真空蒸发、溅射和电镀等工艺制成的集成电路。

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介绍了一种12 GHz附近的高温超导薄膜微波表面电阻Rs测试系统。该系统采用低损耗高介电常数的蓝宝石，构成工作在TE011+δ谐振模式的介质谐振器，在77 K时，利用测量介质谐振器的Q值得到单片高温超

2023-11-15 2 薄膜电路

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2014-01-21 178 薄膜电路

基于Matlab实现多层光学薄膜的特征矩阵数值计算，提供可直接用于科研与工程分析的成熟代码。经过多个项目验证，具备高精度与稳定性，适合光学设计与材料研究领域应用。

2026-01-25 1 薄膜电路