薄膜测量
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查看全部 500 份 →CYBJ-971型溅射金属薄膜压力传感器及其在自容式下井系统中的应用
华中科技大学光电子工程系微制造实验室(华光科技研究所)研制生产的CYBJ-971 型溅射金属薄膜压力传感器,由于采用了当今较为先进的金属薄膜溅射、内部标定和温度补偿等技术,使其具有测量范围大、高
2024-01-22
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氮气流量对金刚石膜生长的影响研究
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜,研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌和膜品质的影响。实验发现,在较低的氮气流量下,金刚石膜的生长速率增加,在较高的氮气流
2023-12-29
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