薄膜技术

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采用溅射技术, 对薄膜沉积的相关工艺参数进行了优化, 获得了电阻温度系数TCR≤±10×10- 6ö℃的锰铜薄膜。该项技术为锰铜传感器的薄膜化奠定了基础, 同时也可用于制作锰铜薄膜精密电阻器

2023-12-26 5 薄膜技术

介绍一种用锑化铟—铟( InSb2In) 共晶体薄膜磁敏电阻(MR) 制成的齿轮转速传感器( GVS) ,它由磁敏电阻器和信号处理电路两部分构成。磁敏电阻器的噪声约为95μV , 磁敏电阻器与齿轮的距

2023-12-10 3 薄膜技术