薄膜压力传感器
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锰铜精密电阻薄膜的制备工艺研究
采用溅射技术, 对薄膜沉积的相关工艺参数进行了优化, 获得了电阻温度系数TCR≤±10×10- 6ö℃的锰铜薄膜。该项技术为锰铜传感器的薄膜化奠定了基础, 同时也可用于制作锰铜薄膜精密电阻器...
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镍钴薄膜磁敏传感器的研究
介绍了一种新型的三端镍钴薄膜磁敏传感器的设计、制造及工作原理,并给出了该传感器性能指标。关键词:磁敏传感器;设计与制造;工作原理Abstract :The design and fab...
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碳纳米管薄膜的场发射特性研究*
碳纳米管薄膜是一种能应用于场发射平面显示器等器件中的新型冷阴极材料。该文用Ni作为催化剂，采用催化热解法在硅片上制备了多壁碳纳米管薄膜场发射阴极，反应气体为乙炔、氢气和氮气。用SEM和TEM分析...
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氧化铝薄膜式湿度仪的在线应用
通过对氧化铝薄膜式湿度仪工作原理的介绍，分析了此类湿度仪的良好性能，并比较了压力露点与常压露点的数值差异针对宝钢冷轧厂能源车间的在线实际应用较详细地分析了影响湿度测量的两种取样装置结构及其用途，以及介...