基于激光莫尔信号精密定位装置的高速高精度定位控制
介绍了激光干涉莫尔信号差动式精密定位方法，提出了精密定位装置的粗控和微控两段式控制方式，扩大了装置的定位控制范围，又有效地缩短精密定位时间，实现装置宽控制范围的高速高精度控制。 关键词：...
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