激光在精密计量中的应用 224页 10.8M.pdf
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介绍了激光干涉莫尔信号差动式精密定位方法,提出了精密定位装置的粗控和微控两段式控制方式,扩大了装置的定位控制范围,又有效地缩短精密定位时间,实现装置宽控制范围的高速高精度控制。 关键词:...
介绍了激光干涉莫尔信号差动式精密定位方法,提出了精密定位装置的粗控和微控两段式控制方式,扩大了装置的定位控制范围,又有效地缩短精密定位时间,实现装置宽控制范围的高速高精度控制。 关键词:...
光栅传感器是一类精密传感器, 在直线位移或角位移的测量中有广泛的应用。但在工业应用中, 除各种电磁干扰外, 还有微小机械振动产生的干扰以及温度误差等, 使测量精度大大下降。本文提出了在后续处理电...