磁系统
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真空镀膜机是一种直流磁控反应溅射镀膜机， 主要应用于太阳能真空管的制造过程。通过改变靶材与工艺参数， 在工件表面上镀制纯金属膜、 合金膜以及多种金属的化合物膜。三靶镀膜机真空室内有 3种靶材 ， 通过修改工艺运行...
2022-09-17
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