硅片加工
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查看全部 500 份 →项目的研究内容是对硅微谐振式加速度计的数据采集电路开展研究工作。硅微谐振式加速度计敏感结构输出的是两路差分的频率信号
项目的研究内容是对硅微谐振式加速度计的数据采集电路开展研究工作。硅微谐振式加速度计敏感结构输出的是两路差分的频率信号，因此硅微谐振式加速度计数据采集电路完成的主要任务是测出两路频率信号的差值。测量要求是：实现10ms内对中心谐振频率为20k...
2013-12-09
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项目的研究内容是对硅微谐振式加速度计的数据采集电路开展研究工作。硅微谐振式加速度计敏感结构输出的是两路差分的频率信号
项目的研究内容是对硅微谐振式加速度计的数据采集电路开展研究工作。硅微谐振式加速度计敏感结构输出的是两路差分的频率信号，因此硅微谐振式加速度计数据采集电路完成的主要任务是测出两路频率信号的差值。测量要求是：实现10ms内对中心谐振频率为20k...
2017-02-13
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电容式硅微加速度计在小型飞行器上的应用
低成本传感器的应用是小型飞行器迅速发展的现实要求，将MEMS传感器技术结合飞行器应用是一个全新的前沿发展方向；对电容式硅微加速度计在小型飞行器上的应用进行了研究，提出此类加速度计存在输出不完全的问题，
2024-01-19
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