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为了实现液压系统的动态测量,给液压系统的设计以及故障诊断提供理论依据,在已经设计的新型MEMS 流量传感器的基础上,对其结构尺寸进行了进一步的优化,并对MEMS 芯体和优化后的MEMS

2023-10-24 1 电传动

介绍了一种多通道光纤振动传感器的原理和设计,它使用悬臂梁来遮挡反射回光纤的光,用光强度调制来实现振动信号的测量。这种传感探头只需一根光纤引出,紧凑小巧,易于安装调试。详细地介绍了系统的设计和制作方法。

2023-06-21 4 电传动

提出和论述了一种光纤振动传感器的原理和探头设计方法。使用悬臂梁来遮挡反射回光纤的光,用光强度调制来实现振动信号的测量。这种传感探头只需一根光纤引出,紧凑小巧,易于安装调试。结果表明,这种光纤振动传感器

2024-02-01 5 电传动

介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’

2024-04-04 1 电传动