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热激励硅谐正式压力传感器温度场的有限元计算
针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构，利用有限元法系统地对其温度场进行模拟计算，分析并得出了激励电阻在粱谐振子上位置、长度、宽度变化时；粱谐振子长度、宽度、厚度变化...
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