油膜挤压
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2024-09-19
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提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 二)
ANSYS - 5. 7 被用来进行有限元分析。首先根据硅微机械技术的特点对3 种膜片进行建模。图2 (a)中的平膜没有什么特殊性,但图2 (b) 和图2 (c) 的波纹膜和深盆腔膜则有一定的形状要求
2024-03-06
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提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 一)
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度,但是其波纹结构本身又会
2023-12-26
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