机械电子
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查看全部 500 份 →微电子机械系统技术及其应用
微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有：腐蚀技术、硅键合技术、多层无应
2024-05-08
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2014-05-05
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