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微电子技术的发展规律及趋势。介绍了微电子技术随特征尺寸缩小而存在的几个关键发展层次，包括微细加工、互连技术、新器件结构及材料技术等。
2013-12-02
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2013-06-15
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2016-04-26
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2023-09-11
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2023-07-08
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