📚 扩散炉技术资料

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扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

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利用小方炉土法炼焦 提取液气燃料 by 无 (z-lib.org).pdf
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