扩散炉

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

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使用8串口卡(RS-232接口),实时显示各个干燥炉内部温度,支持设定加温参数,保存加温过程数据(炉温和开关门),超温报警,历史数据曲线图查看等功能。

2025-05-15 3 扩散炉