感光膜
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感光膜 热门资料
查看全部 500 份 →光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计
建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型, 利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析, 并对传感器谐振微梁厚度和空腔高度进行了优化1关键词 自谐振; 菲涅耳系数矩阵; 光电激励
2024-03-17
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Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能
微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注。利用微机电系统(MEMS) 加工技术,制备Si 基膜片型微结构单元,并分析其热学性能。这种单元工作区温度为
2024-01-20
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高灵敏度光纤光栅压力传感器及其压力传感特性的研究
采用增敏罐封装的方法,设计并研究了一种新型高灵敏度的光纤光栅压力传感器,其压力灵敏系数可高达- 3. 41 ×10 - 3 MPa - 1 (相应于灵敏度- 5. 277 nmPMPa) ,压力
2024-03-28
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