热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析
利用有限元分析工具ANSYS/ FLOTRAN , 模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场。并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响。
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用广义板理论和有限元平板壳元素与三维实体元素的组合方法,建立了微型加速度传感器整体的有限元分析模型。对模型进行了静态和动态分析,给出了具体的分析结果。依据强度条件对工作梁进行了优化设计,使微型加
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