微米

μm,读作(miu),微米,长度单位。微米是长度单位,符号[micron]。微米公制中计量长度的一种单位[1]。1微米的长度是1米的一百万分之一,是1毫米的一千分之一。通常用来计量微小物体的长度。微米技术用于界定物理特征尺寸接近1μm的体系。

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主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等。关键词:  信息

2024-03-04 5 微米