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空间微机电系统的研究与进展
介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况, 着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF2M EM S、MO EM S、微仪器和微ö纳卫星的研究与进展情况。关键词: 微机电系统;...
微机系统
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