实时控制与智能仪表 多微机系统的通信技术
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微机电系统技术资料
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微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
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