振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟
根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配, 用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸; 根据建立的陀螺振动的等效电路模型, 对检测振动的性能进行了模拟分析, 该模型为传感器与接口电路的整体模拟打...
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根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配, 用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸; 根据建立的陀螺振动的等效电路模型, 对检测振动的性能进行了模拟分析, 该模型为传感器与接口电路的整体模拟打...
文中基于陀螺这种从原始的玩具逐步发展成为制导武器系统不可缺少的传感器的事实,通过研究陀螺的发展历史,罗列陀螺的种类、原理和特点,简要地概括了各个发展阶段陀螺的主要类型、陀螺的性能指标、生产工艺,最后给出从陀螺的发展历史中所得到的启示。 ...
微电子机械系统(MEMS ———Micro Electro Mechanical Systems) ,是指运用微电子加工技术和微机械加工技术,在较小的物理尺寸上,集成了微机械元件,微传感器,微机械执行...