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本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。关键词:石英;微机械陀螺;各向

2023-11-12 3 微机技术

    本书是为中国科学技术大学工科电子类本科生学习微型计算机原理与系统课程编写的教材,自1996年9月出版以来,被很多高校选为教材,受到了广大读者的欢迎,并提出了不少宝贵的意见和建议,为此,我们再次...

2022-06-09 39 微机技术