微加速度计
微加速度计最典型的是原理：以一个质量块作为敏感部件，当载体有某一方向的加速度时，质量块向一个方向偏移，然后通过电极测量这个位移量（或产生偏移的惯性力）换算为加速度。
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查看全部 500 份 →电容式硅微加速度计变换方程的研究
研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定性是这种电容式传感器的优点之
2024-04-15
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2026-03-11
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