光纤位移传感器在微位移测量中的应用研究
设计了一种测量微位移的光纤位移传感器, 得到了传感器的位移2相位变化关系, 通过相位检出, 获得了微位移量。分析表明, 光纤位移传感器能够满足微位移测量的要求。关键词: 光纤传感器; 微位移;...
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微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容的材料，用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐。
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查看全部10000个资源 »阳极键合工艺进展及其在微传感器中的应用
分析了阳极键合技术的原理和当前阳极键合技术的研究进展,综述了微传感器对阳极键合的新需求,展望了阳极键合技术在传感器领域的应用前景。关键词:阳极键合; 传感器; 硅片...
多传感器集成的智能化微测量系统研究
通过分析国内外坐标测量机的智能化和微测量方面的研究现状, 提出多传感器集成的高速智能化微测量研究思路, 并阐述了研究方法和测量系统原型。该研究将对智能化微测量具有重要的指导意义。关键词 多传感...
微能源
微电子机械系统(MEMS ———Micro Electro Mechanical Systems) ,是指运用微电子加工技术和微机械加工技术,在较小的物理尺寸上,集成了微机械元件,微传感器,微机械执行...
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