工艺控制

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采用溅射技术, 对薄膜沉积的相关工艺参数进行了优化, 获得了电阻温度系数TCR≤±10×10- 6ö℃的锰铜薄膜。该项技术为锰铜传感器的薄膜化奠定了基础, 同时也可用于制作锰铜薄膜精密电阻器

2023-12-26 5 工艺控制

钱学森经典著作,系统阐述工程控制理论的核心思想,融合现代控制方法与实际应用,为复杂系统建模与优化提供坚实基础。

2026-01-24 2 工艺控制