容限设计

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对电容式湿度传感器的“输出限幅”现象进行了较为细致的分析,阐明了产生“输出限幅”现象的原因,定义了“物理短路”和“品质下降”两个阶段, 并给出了相应的预防措施。关键词: 电容式湿度传感器; 湿

2024-01-22 6 容限设计

设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰,同时z轴支撑梁的设计,解决了水平轴向对z轴的干扰。

2013-10-13 65 容限设计